Planarisation chimique mécanique

Abrasifs chimiques, mécaniques, planarisation, sol de silice

La planarisation chimique mécanique (CMP) enlève de la matière de la surface d’une plaquette afin d’obtenir une base de haute qualité pour la couche suivante d’un circuit ou comme étape de polissage final. Nos abrasifs sols de silice CMP de nouvelle génération sont conçus pour permettre une sélectivité ciblée, une faible défectivité et un faible taux de rayures, un taux d’élimination rapide et une grande stabilité dans la formulation de la boue. 

Nous proposons une gamme d’abrasifs à base de silice colloïdale pour le CMP afin de couvrir différents besoins en boues pour différents types de copeaux et de couches. Les particules abrasives présentent une distribution granulométrique, une dureté, une morphologie et un profil de surface ayant une incidence directe sur les paramètres critiques, y compris le taux d’élimination et les défauts de la plaque.

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Produits de silice colloïdale de haute pureté pour CMP

  • Taille : Sur mesure
  • Solide : 30 %
  • pH : 8,9-9,5
  • Stabilisé au potassium

  • Taille (nm) : 35
  • Surface m2/g : 85
  • % de solides : 30 
  • pH : 9-10 
  • Stabilisation : K+

  • Taille (nm) : Sur mesure 
  • Surface m2/g : 85 
  • % de solides : 50 
  • pH : 9-10 
  • Stabilisation : K+

  • Taille (nm) : Sur mesure 
  • Surface m2/g : 50 
  • % de solides : 50 
  • pH : 8,5

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Développement de produits abrasifs CMP personnalisés

Nos équipes expérimentées en recherche, développement et ingénierie spécialisées fournissent des services de développement de produits de sol de silice personnalisés afin de fournir des solutions adaptées aux besoins et aux processus spécifiques de l’entreprise. Nous concevons des produits couvrant une large gamme de :

  • Taille des particules
  • Distributions granulométriques
  • Cation stabilisé
  • Concentration
  • pH
  • Type de conditionnement
  • Condition de température
  • Classification
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Qualité et uniformité des produits à base de silice colloïdale

Nalco Water met l’accent sur la qualité, l’uniformité et la fiabilité dans toutes ses solutions de silice colloïdale. Pour nous assurer que notre sol de silice fonctionne correctement dans les applications de CMP, nous nous tournons vers les normes IPC pour guider nos tests de contrôle de la qualité.

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Nalco Water est un chef de file en matière de silice colloïdale

  • Premier procédé breveté de fabrication de silice colloïdale en 1941
  • L’un des plus grands fabricants de silice colloïdale au monde
  • Des équipes de recherche, développement et ingénierie innovantes pour le développement de produits personnalisés
  • Des poduits conçus pour l’efficacité, la qualité et le contrôle de la fabrication
  • Une conception innovante des particules et un support de qualité pour une forte valeur ajoutée

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Références

  1. Les produits ont été fabriqués à l’aide de l’approche technique LMSII pour éliminer les métaux; [Cu] et [Ni] moins de 20 ppb, Disponibilité soumise au volume↵