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Planarisation chimique mécanique

Planarisation chimique mécanique

Nos sols de silice de nouvelle génération sont conçus pour permettre des améliorations significatives du taux d'élimination, de la finition de surface et de la planarisation, ainsi que pour répondre aux exigences techniques plus variées de nos clients. Les particules abrasives présentent une distribution granulométrique, une dureté, une morphologie et un profil de surface ayant une incidence directe sur les paramètres critiques, y compris le taux d’élimination et les défauts de la plaque.