Plaques de haute qualité

Pâtes de polissage pour plaquettes de silicium de première qualité

Nalco Water fournit de la silice colloïdale à l’industrie des wafers depuis des décennies, et notre expertise complète et étendue nous permet de produire des pâtes de polissage au silicium de la plus haute qualité de l’industrie. 

Nos produits à base de silice colloïdale hautement stables offrent une pureté, un contrôle des tailles des particules, une distribution granulométrique et une morphologie exceptionnelles pour des performances optimales dans vos processus de polissage des plaques de haute qualité.

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Conception de pâtes de polissage de plaquettes pour :

Shield with checkmark

Taux d’élimination élevés

 

Gears with arrows

Performances stables

 

Arrow pointed down in circle.

Faible défectivité

 

Disinfection Icon
Excellente finition de surface et planéité


Pâtes de silice colloïdale prêtes à l’emploi pour le polissage de la plaque de silicium

  • Taille (nm) : 60 
  • pH : 11 
  • Stabilisation : Na+

  • Taille (nm) : 60 
  • pH : 8,5 
  • Stabilisation : Na+

  • Taille (nm) : 85 
  • pH : 11-12 
  • Stabilisation : NH4 
  • Remarques : Additif chélatant

  • Taille (nm) : 85 
  • pH : 11-12 
  • Stabilisation : NH4 
  • Remarques : Taux d’élimination du silicium élevé. Dangereux.

  • Taille (nm) : 120
  • Surface m2/g : 25
  • % de solides : 47
  • pH : 9-10
  • Stabilisation : K+

Planarisation chimique mécanique

Des applications de polissage multiples

Nos pâtes de polissage à base de silice colloïdale sont largement utilisées pour les étapes de polissage de base, de polissage des bords et de polissage final dans la fabrication de plaquettes de silicium et d'autres substrats semi-conducteurs pour microprocesseurs.

Ces pâtes sont également utilisées dans la finition de précision des surfaces d'optiques, des verres de montre et d'autres constituants de verre.

nanoparticlesforpolishing

Innover pour répondre aux besoins des formulateurs de pâte de planarisation par polissage chimico-mécanique (CMP)

Nalco Water a adapté sa fabrication de silice colloïdale afin d’offrir des nanoparticules novatrices de grande pureté pour répondre aux besoins du formulateur de pâte de planarisation par polissage chimico-mécanique (CMP).

  • Nanoparticules à base de verre d’eau de très haute pureté
  • Grand éventail de tailles de particules, de distributions de tailles et de concentrations
  • Produits de pointe conçus pour être stables dans un grand éventail de pH
  • Étroite collaboration entre les recherches
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Nalco Water est un chef de file en matière de silice colloïdale

  • Premier procédé breveté de fabrication de silice colloïdale en 1941
  • L’un des plus grands fabricants de silice colloïdale au monde
  • Des équipes de recherche, développement et ingénierie innovantes pour le développement de produits personnalisés
  • Des poduits conçus pour l’efficacité, la qualité et le contrôle de la fabrication
  • Une conception innovante des particules et un support de qualité pour une forte valeur ajoutée

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Références

  1. Les produits ont été fabriqués à l’aide de l’approche technique LMSII pour éliminer les métaux; [Cu] et [Ni] moins de 20 ppb. Disponibilité sous réserve de volume. ↵